三星电子宣布已使用EUV曝光技术交付了100万个DDR4 SDRAM模块。
新型DDR4 DRAM模块采用10nm EUV曝光技术，因此，据说可以通过减少多图案重复来缩短性能，良率和开发周期，这是缩放和提高精度的问题。
据三星电子称，基于EUV的DDR4 DRAM模块有望用于高端市场PC，便携式设备，企业服务器和数据中心。三星电子还将为DDR5和LPDDR5 DRAM采用EUV技术，预计将在明年量产。由于对下一代高端DRAM产品的需求不断增长，平泽市的第二条半导体生产线也计划于今年投入运营。相关信息可以在这里找到。
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